AC300-SE大功率程控伺服匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备上才可能达到稳定性和均匀性，最大处理12寸圆晶基片。

　　不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别大功率伺服电机系统，采用于工业级设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中领先的最大达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。

主要性能指标：

• 主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）

• 内腔采用耐腐蚀、易清洁超高分子材料（HDPE）

• 旋涂程序：最多存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒

• 转动速度：0-5,000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm

• 旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s

• 马达旋涂转速稳定性能误差： < ±1rpm

• 转速调节精度和重复性： 1rpm

• 工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec

• 支持wafer尺寸25px-300mm（12“圆晶）

• 旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）

产品特性优点：

• 最新的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。

• 7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。

• Telon ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。

• 标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。

• 采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。

• 机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。

• 排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。

• 透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

产品外型尺寸：

　 　　613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)

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