AC300-SE大功率程控伺服匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备,它可以实现价值百万美元设备上才可能达到稳定性和均匀性,最大处理12寸圆晶基片。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观;工业级别大功率伺服电机系统,采用于工业级设备相同设计和程序,使您的工艺更具有实际应用意义;同类产品中领先的最大达到50000rpm/s的旋转加速度,确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
主要性能指标:
主机机箱采用不锈钢材料(抗化学腐蚀易清洁)
内腔采用耐腐蚀、易清洁超高分子材料(HDPE)
旋涂程序:最多存100组程序,每组100步,每个步骤可精确到0.1秒
转动速度:0-5,000rpm(更高速可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可选),考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s
马达旋涂转速稳定性能误差: < ±1rpm
转速调节精度和重复性: 1rpm
工艺时间设定: 0-3,000 sec/step,时间设置精度:0.1sec
支持wafer尺寸25px-300mm(12“圆晶)
旋涂作业均匀性:< ±3% 在6英寸范围内(需要去除边缘3毫米区域测量)
产品特性优点:
采用工业级别伺服电机,电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢,永不生锈,便于清洗。
排风和抽气系统位计于载片台之底部 (以利于排风效率和匀胶均一性)。
透明可视,耐化学腐蚀的密封盖,可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
产品外型尺寸:
613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)
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